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        环亚国际真人手机版_上海光机所初次操作硫系薄膜实现灰度光刻
        发布日期:2018-08-26  作者:环亚国际真人手机版 阅读:883

        2014年5月出书的Nature Photonics(《天然·光子学》)杂志,在News & Views专栏中专题报道了中国科学院上海光学慎密机器研究所高密度光存储尝试室魏劲松研究小组初次操作硫系薄膜实现高判别率的灰度图形光刻[Nature Photonics 8, 352 (2014), doi:10.1038/nphoton.2014.92]。该研究小组在干福熹院士和吴谊群研究员的教育下恒久从事非线性超判别纳米光学与光子学研究以及微纳布局光刻结构与应用开拓。上述研究成就的全文颁发于3月10日出书的《光学快讯》[Optics Express 22, 5, 4973-4984 (2014)]。该项研究初次发明操作激光直写在硫系薄膜形成外貌浮雕布局,通过准确节制激光脉冲能量可以获得差异高度和尺寸的浮雕布局,差异高度和尺寸的浮雕布局发生差异的反射(透射)光谱,操作该效应形成灰度光刻,并乐成在Sb2Te3薄膜上刻写出持续调灰度图像。

          《天然·光子学》杂志编辑部Simon Pleasants博士撰稿的上述专栏报道,以Lithography: Chalcogenide promise为题,重点评述指出:“硫系薄膜作为相变原料在光存储,半导体存储中具有普及的应用,这些应用基于硫系薄膜的非晶态和晶态所具有的差异光学特征和电学特征。此刻,,操作硫系薄膜的液态、气态、晶态和非晶态四种状态,演示了行使硫系相变薄膜作为灰度光刻原料制备灰度图形(Opt. Express 22, 4973–4984; 2014)。

          该研究通过激光直写硫系相变原料形成外貌浮雕布局,为伟大灰度图案的制备提供了新的办理步伐,这与当前的曝光成像技能、电子束光刻、聚焦离子束光刻技能差异,是一种新奇简朴又低本钱的制造工艺。凸起的浮雕布局展示的光学机能在高判别率的微纳图像存储,微艺术品加工和灰度掩膜制备等很多方面有隐藏的应用代价。 

          该项研究获得了国度天然科学基金、中国科学院科研设备研制打算和上海市科委基本研究重点打算的支持。

        上海光机所首次操纵硫系薄膜实现灰度光刻

         

        《天然·光子学》专栏报道上海光机所初次操作硫系薄膜实现灰度光刻

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